  
二、碳化硅導軌框架
我單位生產(chǎn)的碳化硅導軌及框架具有耐壓性、不泄露等特點，適用于光刻機及刻蝕機的等裝備的關(guān)鍵部位。
主要技術(shù)指標：
表3：導軌框架性能指標
     
  
 
圖16 多孔吸盤面型
四、碳化硅反射鏡
基于碳化硅陶瓷材料的優(yōu)異性能，結(jié)合本單位碳化硅結(jié)構(gòu)件的制備工藝，開發(fā)出具有復雜輕量化結(jié)構(gòu)及面型精度的機載、車載碳化硅反射鏡，并將反射鏡制備技術(shù)用于無人車自動駕駛激光雷達用碳化硅反射鏡片，為無人駕駛汽車自動駕駛提供“眼睛”，實現(xiàn)了碳化硅反射鏡在民用領域的應用。
 
五、其他碳化硅陶瓷部件
除此之外，本單位還生產(chǎn)碳化硅陶瓷手臂，碳化硅陶瓷托盤等高精密部件，用于IC制造行業(yè)的硅片傳輸及刻蝕機用晶圓的承載，為IC制造業(yè)提供支撐。
 
 
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